«Цель работы заключалась в создании установки с ванной мегазвуковой промывки кремниевых пластин ∅100 мм, используемых для получения наноразмерных монокристаллических структур. [...] Конструкция установки позволяет обеспечить равномерность сканирования всей поверхности пластин мегазвуковым лучом в ванне мегазвуковой очистки»
...пока мы тут по старинке, обрабатываем подложки в ультразвуковой ванне, а монокристаллы растим миллиметрового размера, истинные промышленные гиганты наноиндустрии уже несколько лет как растят наноразмерные монокристаллы, а подложки обрабатывают в мегазвуковой ванне. И не чем нибудь, а мегазвуковым лучом, путём сканирования оным.
Статья в журнале "На-на индустрия", если что, не фигня какая-нибудь.
